[发明专利]一种多通道微针及其制造工艺在审
申请号: | 202210411706.1 | 申请日: | 2022-04-19 |
公开(公告)号: | CN114768080A | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 乔建民 | 申请(专利权)人: | 沈燕萍 |
主分类号: | A61M37/00 | 分类号: | A61M37/00;B23P15/00 |
代理公司: | 杭州中利知识产权代理事务所(普通合伙) 33301 | 代理人: | 韩洪 |
地址: | 310000 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种多通道微针及其制造工艺,一种多通道微针的制造工艺包括a)开口;b)一次成膜;c)二次成膜;d)三次成膜;e)开孔;f)光学和电极处理和g)去衬,本发明通过在衬底的顶面刻蚀若干个内凹部,再在衬底的顶面依次生成具有第一针膜空心下沉结构的第一针体膜层、具有第二针膜空心下沉结构的第二针体膜层以及具有第三针膜空心下沉结构或第三针膜实心下沉结构的第三针体膜层,从而共同形成复合下沉结构,可利用打磨或刻蚀的方式在复合下沉结构之中形成中空通道,最终在去除衬底之后,得到具有微米级尺寸的光机电通道的单根微针或微针阵列,具有一对或一对以上的电极以及单一或多光学通道,可实现对人体组织液的原位检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 通道 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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