[发明专利]金属板以及蒸镀掩模的制造方法在审
| 申请号： | 202210459956.2 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN114774854A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 池永知加雄;中山浩明;池田和成;初田千秋;大内诗子 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23F1/02;C21D1/26;C21D1/74;C21D8/02;C22C38/08;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供金属板以及蒸镀掩模的制造方法，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。 | ||
| 搜索关键词： | 金属板 以及 蒸镀掩模 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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