[发明专利]抛光载体有效
| 申请号： | 202210581245.2 | 申请日： | 2022-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN115091359B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;潘兴兴;李阳健;郑猛;黄金涛;陈莹 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司;晶盛机电日本株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 安威威 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光载体，用于承载抛片在抛光垫上进行抛光，能够提升抛片平坦度，以解决抛片平坦度不良的问题。该抛光载体包括：基座组件，该基座组件包括第一腔和第二腔，该第一腔和该第二腔用于分别被可调节地充压以提供大小可变的作用力；第一施力组件，该第一施力组件被设置于该基座组件，并且该第一施力组件用于连接该抛片，以在该第一腔的作用下对该抛片施加作用力；以及第二施力组件，该第二施力组件被设置于该基座组件，并且该第二施力组件被相对可活动地环绕在该第一施力组件的周围，该第二施力组件用于在该第二腔的作用下，对该抛光垫上位于该抛片周围的区域施加作用力。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 载体 | ||
【主权项】：
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