[发明专利]目标图像的更新方法及系统、晶圆检测方法和计算机设备有效
| 申请号： | 202210733693.X | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN114820601B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 谢金涛 | 申请（专利权）人： | 合肥新晶集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06V10/74;G06K9/62 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 姚姝娅 |
| 地址： | 230012 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种目标图像的更新方法及系统、晶圆检测方法和计算机设备。目标图像的更新方法包括：获取待测晶圆的光学图像，基于待测晶圆的光学图像得到参考图像及参考图像的灰度；将参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断参考图像与目标图像的灰度差是否位于第一预设范围内，若是，将参考图像及参考图像的灰度保存；重复上述各步骤若干次，以保存多张参考图像及参考图像的灰度；将多张参考图像进行拟合，以得到平均参考图像及平均参考图像的灰度；将平均参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断平均参考图像与目标图像的灰度差值是否位于第二预设范围内，若是，将目标图像进行更新替换，将平均参考图像作为新的目标图像。 | ||
| 搜索关键词： | 目标 图像 更新 方法 系统 检测 计算机 设备 | ||
【主权项】：
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