[发明专利]沉积源及显示装置的制造装置在审
申请号: | 202210825069.2 | 申请日: | 2022-07-13 |
公开(公告)号: | CN116024531A | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 曹踊晧;洪锡俊;姜有珍;金东昱;郑和平;韩尚辰 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/04;H10K71/00;H10K71/10;H10K59/12 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 崔今花;周艳玲 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种沉积源及显示装置的制造装置。本发明的一实施例的沉积源包括:外壳,在所述外壳的内部收容沉积材料;第一板,被设置为与所述外壳的底面相对且相隔,在所述第一板的中央包括多个第一开口;第二板,被设置为与所述第一板相对且相隔,并且包括多个第二开口;多个肋,被设置在所述外壳的底面与所述第一板之间;以及盖,被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳,所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。 | ||
搜索关键词: | 沉积 显示装置 制造 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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