[发明专利]放电检测装置以及带电粒子束照射装置在审
| 申请号： | 202210951298.9 | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN115732294A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 室伏达也;山中吉郎;早川裕树 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/26;G03F1/68 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种放电检测装置以及带电粒子束照射装置，能够减少因保持天线的保持部件而引起的放电的频率。实施方式的放电检测装置包括：真空容器；导电性的设置部件，设置在上述真空容器内，通过与上述真空容器连接而保持在上述真空容器；导电性的天线，设置在上述真空容器内；以及保持体，包含具有处在1×10 |
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| 搜索关键词： | 放电 检测 装置 以及 带电 粒子束 照射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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