[发明专利]微机电系统轴的耦合效应的检测、校正和补偿

摘要

本公开的各实施例总体上涉及微机电系统轴的耦合效应的检测、校正和补偿。一种振荡器控制系统包括振荡器结构，该振荡器结构被配置为根据利萨茹图案围绕第一旋转轴线和第二旋转轴线振荡，其中围绕第二旋转轴线的振荡将交叉耦合误差施加到围绕第一旋转轴线的振荡上，并且其中交叉耦合误差根据利萨茹图案内的利萨茹位置而改变；以及包括锁相环(PLL)的驱动器电路，该PLL被配置为调节驱动信号，该驱动信号驱动围绕第一旋转轴线的振荡。PLL被配置为基于围绕第一旋转轴线的振荡的相位误差生成PLL信号。PLL包括补偿电路，该补偿电路被配置为接收PLL信号和利萨茹图案内的利萨茹位置，将补偿值应用于PLL信号以生成用于基于利萨茹位置生成驱动信号的已补偿PLL信号。