[发明专利]一种高均匀石英砣的热处理方法及生产装置在审
申请号: | 202211034692.2 | 申请日: | 2022-08-26 |
公开(公告)号: | CN115466045A | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 张玉;肖华;郇朝阳;南晶 | 申请(专利权)人: | 江苏亨芯石英科技有限公司 |
主分类号: | C03B25/02 | 分类号: | C03B25/02 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 朱振德 |
地址: | 215299 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种高均匀石英砣的热处理方法及生产装置,包括酸洗高纯度合成石英砣,在石英砣两端均焊接石英靶棒,并将石英砣放置在石英筒的筒口;控制石英砣匀速的从石英筒的筒口经设定的第一低温区运动至设定的高温区,再进入设定的第二低温区内进行热处理;石英砣的顶端通过第二低温区后,停止高温区、第一低温区和第二低温区的加热,并将石英砣匀速上升至石英筒的筒口;待石英砣冷却后,取下包含石英靶棒的石英砣,再将含石英靶棒的石英砣整体倒置,再重复进行热处理过程。本发明可以提高石英砣的光学均匀性,保证材料较低的应力双折射,且热处理过程材料不受污染,有效降低高纯度石英原料的浪费,也避免因杂质污染而影响材料的光学均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 均匀 石英 热处理 方法 生产 装置 | ||
【主权项】:
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