[发明专利]一种用于生产高密度ITO靶材的挤出成型方法在审
申请号: | 202211038164.4 | 申请日: | 2022-08-29 |
公开(公告)号: | CN115433005A | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 陆映东;梁盈祥;宋春华;黄誓成;张倍维;薛超;黄作;莫斌 | 申请(专利权)人: | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
主分类号: | C04B35/457 | 分类号: | C04B35/457;C04B35/622;C23C14/35 |
代理公司: | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人: | 韦微 |
地址: | 545036 广西壮族自治区柳州市阳和工*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于生产高密度ITO靶材的挤出成型方法,包括以下主要步骤:将ITO粉与水混合,并加入添加剂,球磨得到浆料;然后将浆料过滤后形成滤饼;配制琼脂糖溶液,并与滤饼混练,之后静置凝固。将所得物料,真空练泥后,用挤出成型机挤出成型得到坯体,通常是片状或管状等横截面相同的坯体。本发明在制备过程中,通过挤出成型方式得到ITO坯体,加入的添加剂少,所成型的坯体可满足ITO靶材对纯度的要求。同时,该方法成型的ITO坯体,烧结密度高、设备投资少,特别适合大尺寸靶材的批量生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 生产 高密度 ito 挤出 成型 方法 | ||
【主权项】:
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