[发明专利]一种硅片烧结炉气体抽排装置在审
申请号: | 202211040357.3 | 申请日: | 2022-08-29 |
公开(公告)号: | CN115338219A | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 沈晓;金龙;姬良莉 | 申请(专利权)人: | 江苏格林保尔光伏有限公司 |
主分类号: | B08B15/00 | 分类号: | B08B15/00;B08B1/00;F27D17/00;A62C2/00 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 刘松 |
地址: | 213166 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅片烧结炉气体抽排装置,包括抽排装置的吸风罩、位于吸风罩内的清理机构和位于吸风罩上方的过滤装置,所述清理机构包括升降板、下端螺纹贯穿升降板的螺纹杆、位于升降板外侧的多个连接板和角板,所述螺纹杆上端通过轴承连接穿过吸风罩且与电机连接,所述连接板与升降板活动连接,且所述角板与相邻的连接板活动连接且与升降板组成田字结构,所述连接板和角板的侧壁与吸风罩的内侧壁滑动接触,所述过滤装置包括过滤组件,所述过滤组件包括储存仓和位于储存仓上敞口的盖板,所述储存仓内设置有倒U管和多个输气管,本发明解决现有的片烧结炉气体抽排装置极易将火焰抽取到吸风罩和管道内,并引燃吸风罩和管道内侧壁油脂的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 烧结炉 气体 装置 | ||
【主权项】:
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