[发明专利]高能超声酸洗辅助两段式氮化工艺制备高纯氮化硅粉体的方法在审
申请号: | 202211087843.0 | 申请日: | 2022-09-07 |
公开(公告)号: | CN115367716A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 孙晓红;袁壮;赵信琦 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C01B21/068 | 分类号: | C01B21/068;C04B35/626;C04B35/584 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300350 天津市津南区海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及高能超声酸洗辅助两段式氮化工艺制备高纯氮化硅粉体的方法。本发明以硅粉为原料,两段式升温制度进行硅粉氮化,通过加入卤化物和金属催化剂可以实现低能耗制备均匀稳定的氮化硅粉体。同时辅助超声酸洗工艺改善粉体的微观形貌使粉体表面趋于光滑,降低粉体中的游离硅、硅氮氧化合物及金属杂质,完成高纯氮化硅粉体的稳定制备。本发明利用两段式升温措施,借助卤化物熔盐环境均匀的吸附氮气使硅粉在各方向上等几率生长,最后制备出α‑相大于93%,游离硅含量在0.5%的优质氮化硅粉。 | ||
搜索关键词: | 高能 超声 酸洗 辅助 段式 氮化 工艺 制备 高纯 硅粉体 方法 | ||
【主权项】:
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