[发明专利]一种基于具有中间绝热层重叠补偿结构的热释电探测器在审
申请号: | 202211129188.0 | 申请日: | 2022-09-16 |
公开(公告)号: | CN115394907A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 吴勤勤 | 申请(专利权)人: | 南京信息工程大学 |
主分类号: | H01L37/02 | 分类号: | H01L37/02;G01J5/34 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 朱小兵 |
地址: | 210032 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于具有中间绝热层重叠补偿结构的热释电探测器,包括从下至上依次设置的封装底座、读出电路、热释电敏感元以及封装帽,所述热释电敏感元嵌在读出电路的上表面,所述热释电敏感元与读出电路电连接,所述热释电敏感元由探测元、中间绝热层和补偿元组成,所述探测元、中间绝热层和补偿元从上至下重叠分布,形成三明治结构;光信号透过封装帽仅作用于热释电敏感元中的探测元表面,热释电敏感元产生热释电信号,通过读出电路和封装底座实现信号的放大和输出。本发明提供的基于具有中间绝热层重叠补偿结构的热释电探测器能够有效抑制补偿元对有用热释电信号的抵消作用,从而提升器件的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 具有 中间 绝热 重叠 补偿 结构 热释电 探测器 | ||
【主权项】:
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