[发明专利]基于涡旋相位圆偏光矢量叠加的检测系统及方法在审
| 申请号： | 202211197385.6 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115451809A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 付佳昆;代林茂;李晓春 | 申请（专利权）人： | 长沙麓邦光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02001 | 分类号： | G01B9/02001;G01B9/02015;G01B11/06;G02B5/30;G02B27/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410206 湖南省长沙市高新开发区*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学检测技术领域，公开一种基于涡旋相位圆偏光矢量叠加的检测系统及方法，以精准测量透光被测物的厚度均匀度。方法包括：处理器获取无被检测物时相位检测器所采集到的第一矢量偏振场，在将被检测物置于偏振光栅与第一涡旋波片或第二涡旋波片之间后，获取相位检测器所采集的第二矢量偏振场，并对比有被检测物时叠加的矢量偏振场与无被检测物时叠加的矢量偏振场之间的偏振态差值，并根据圆偏光矢量叠加原理得出被检测物透光部中垂直于光轴的截面上各坐标点的相位分布，然后对各坐标点的相位分布进行解包裹后得到截面上各坐标点因厚度所导致的相位延迟量，再根据截面上各坐标点的相位延迟量求解得出被检测物透光部的厚度均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 涡旋 相位 偏光 矢量 叠加 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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