[发明专利]晶体生长炉有效
| 申请号： | 202211315526.X | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115370773B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;朱亮;叶钢飞;倪军夫;管炯杰 | 申请（专利权）人： | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/06 | 分类号： | F16K3/06;F16K3/30;F16K27/04;F16K49/00;C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 赵杰香 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体生长炉，包括：炉体，炉体包括第一炉体和第二炉体；旋板阀，旋板阀包括密封机构和转动机构；转动机构包括连接部和旋板轴，密封机构通过连接部与旋板轴连接；转动机构还包括第一转动件和第二转动件，第一转动件和旋板轴之间转动连接；第二转动件和旋板轴之间转动连接；当密封机构分离第一炉体和第二炉体，且密封机构和旋板阀的阀口之间存在间隙时，密封机构通过连接部带动旋板轴偏移，密封机构封闭旋板阀的阀口。通过上述设置，提升了密封机构对第一炉体和第二炉体之间的密封隔离效果，优化了晶体生长炉内部的工作环境，增加了晶体生长炉内部的结晶效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 | ||
【主权项】：
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