[发明专利]选择性发射极的制备方法和太阳能电池

摘要

本申请提供一种选择性发射极的制备方法和太阳能电池。该制备方法包括步骤：提供硅衬底；对硅衬底的受光面进行掺杂处理，以形成掺杂层和覆盖掺杂层的掩膜层；对掩膜层进行刻蚀，以形成图案化的掩膜层，图案化的掩膜层覆盖电极区的掺杂层，并暴露出非电极区的掺杂层；以图案化的掩膜层为掩膜刻蚀部分厚度的非电极区的掺杂层，其中，被刻蚀后的非电极区的掺杂层中掺杂剂的浓度大于电极区的掺杂层中掺杂剂的浓度。本申请的选择性发射极的制备方法通过先形成重掺杂的掺杂层，然后通过图案化的掩膜层制备轻掺杂的非电极区的掺杂层和重掺杂的电极区的方法制备选择性电极具有工艺步骤简单成本低的优势。