[发明专利]基于二硝基苯曼尼希碱的钛缓蚀剂及其制备方法在审
申请号: | 202211357953.4 | 申请日: | 2022-11-01 |
公开(公告)号: | CN116180087A | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 陈振宇;田野;魏莉莎 | 申请(专利权)人: | 武汉楚博士科技股份有限公司;华中科技大学 |
主分类号: | C23F11/04 | 分类号: | C23F11/04;C23F11/14;C07C221/00;C07C225/12 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡阔雷 |
地址: | 430073 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请提供一种基于二硝基苯曼尼希碱的钛缓蚀剂及其制备方法,包括:20‑40重量份的二硝基苯曼尼希碱化合物;30‑50重量份的分子量不超过60的小分子醇;10‑40重量份的强极性有机溶剂,所述强极性有机溶剂的极性不低于六甲基磷酰胺;其中,所述强极性有机溶剂包括:N,N‑二甲基甲酰胺、甲酰胺、二甲基亚砜中的至少一种。本申请通过对现有硝基化合物进行改性,并以其为原料进行进一步合成具有钛缓蚀剂,采用硝基化合物作为构成钛缓蚀剂的关键主体材料,利用二硝基苯曼尼希碱化合物基团具有氧化性、吸附性的特点,能够对钛单质或钛合金材料起到良好的缓蚀作用。 | ||
搜索关键词: | 基于 二硝基苯 曼尼希碱 钛缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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