[发明专利]液相法生产氮化硅粉体的装置及方法在审
| 申请号： | 202211466470.8 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115924863A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 曾晓国;万烨;严大洲;刘见华 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 白雪 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种液相法生产氮化硅粉体的装置及方法。该装置包括第一原料供应单元、第二原料供应单元、管式反应器、陈化反应釜、固液分离单元、动态热解单元、煅烧单元、含氮惰性气体供应单元及含氮还原性气体供应单元。利用本发明提供的装置，能够以液相法生产氮化硅粉体，生产过程易控制，能够得到高纯度、高α相占比、粒径小且均匀的氮化硅粉体。 | ||
| 搜索关键词： | 液相法 生产 氮化 硅粉体 装置 方法 | ||
【主权项】：
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