[发明专利]一种用于卷绕式高真空镀铝机的节能抽真空设备在审

专利信息
申请号: 202211491215.9 申请日: 2022-11-25
公开(公告)号: CN115961254A 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 张伟;孙国明;张惠东 申请(专利权)人: 青州市邦朋真空科技有限公司
主分类号: C23C14/20 分类号: C23C14/20;C23C14/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 261000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种用于卷绕式高真空镀铝机的节能抽真空设备,包括真空罐主体、一级分子泵和二级分子泵,所述真空罐主体的上部连接有一级分子泵和二级分子泵,所述一级分子泵和二级分子泵的上部设有控制器,所述一级分子泵和二级分子泵下侧设有压强传感器,其一级分子泵和二级分子泵的左侧设有吸气连接管,其一级分子泵和二级分子泵的右侧设有排气连接管,所述一级分子泵和二级分子泵的上部连接有上侧连接管,本发明通过滑阀泵可对真空罐主体内进行预抽处理,使压强达到5×帕可作为一级分子泵和二级分子泵启动的先期条件,利用一级分子泵和二级分子泵可实现真空罐主体达到真空状态,使镀铝机真空室进入镀膜真空状态,提高了抽真空的效率。
搜索关键词: 一种 用于 卷绕 真空 镀铝 节能 真空设备
【主权项】:
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