[发明专利]静电偏转器在审
| 申请号： | 202211630794.0 | 申请日： | 2022-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN116053103A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 罗浒;屈俊健 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/26 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 夏彬 |
| 地址： | 201702 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种静电偏转器，该静电偏转器包括偶数个电极组，每个电极组包括m个电极和导电连接部，m个电极连接于导电连接部，m为大于或等于2的整数。该静电偏转器能够简化导线连接，可以降低因导线虚焊、虚接或折断而导致静电偏转器失灵的风险，提高可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 偏转 | ||
【主权项】：
暂无信息
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