[发明专利]碳化硅粉末、利用其制造碳化硅晶锭的方法及碳化硅晶片在审
| 申请号： | 202211665498.4 | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN116332182A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 朴钟辉;具甲烈;金政圭;崔正宇;徐正斗;甄明玉 | 申请（专利权）人： | 赛尼克公司 |
| 主分类号： | C01B32/956 | 分类号： | C01B32/956;C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 宋东颖 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅粉末、碳化硅粉末的制备方法及碳化硅晶片。碳化硅粉末包含碳和硅，并且在碳化硅粉末中，通过X射线光电子能谱法测量的表面的O1s/C1s是0.28以下。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 粉末 利用 制造 方法 晶片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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