[发明专利]新型化合物、抗蚀剂下层膜组合物以及抗蚀剂下层膜在审
| 申请号： | 202211699559.9 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116425614A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 林瑛培;金炫辰;金钟元;金知贤;金甫龙;金建熙;赵恩情;李承默;张相勳 | 申请（专利权）人： | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | C07C39/17 | 分类号： | C07C39/17;G03F7/11;C08G61/02 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 宋东颖 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供一种耐蚀刻性、间隙填充特性以及耐热性得到改善的化合物。本发明的一实施例提供一种包含以下述结构式1表示的重复单元的化合物：[结构式1] |
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| 搜索关键词： | 新型 化合物 抗蚀剂 下层 组合 以及 | ||
【主权项】：
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