[实用新型]一种曝光设备有效
| 申请号： | 202220302496.8 | 申请日： | 2022-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN217360553U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 李波;李志;马运军;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种曝光设备，其包括放卷机构、曝光机构、收卷机构、控制机构，所述放卷机构包第一滑动机构、第一滑动驱动机构、第一位置检测机构和放卷辊机构；所述收卷机构包括第二滑动机构、第二滑动驱动机构、第二位置检测机构和收卷辊机构；所述曝光机构包括光学机构、运动机构、第三位置检测机构和吸附平台，所述运动机构包括第二平移机构；控制系统依据第一位置检测机构、第三位置检测机构和第二位置检测机构反馈的位置信息同步控制第一滑动驱动机构、第二平移机构和第二滑动驱动机构同步进行副扫描方向运动，带动所述放卷辊机构、吸附平台和收卷辊机构的卷材同时进行副扫描方向运动，避免了对卷材的拉扯，光学机构固定设置，精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 设备 | ||
【主权项】：
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