[实用新型]一种晶圆搬运装置、探针台及晶圆检测自动线有效
| 申请号： | 202220696863.7 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN217766703U | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 胡耿涛;林生财 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆搬运装置、探针台及晶圆检测自动线。本实用新型的技术方案为：一种晶圆搬运装置，所述晶圆搬运装置包括，安装部；上侧吸附部，通过竖直设置的旋转杆连接于第一电机，所述第一电机驱动旋转杆旋转，从而实现上侧吸附部沿旋转杆轴线旋转；所述第一电机固定于所述安装部；下侧托盘部，通过滚动轴承套设于所述旋转杆，并连接有第二电机，所述第二电机固定于安装部；所述下侧托盘部高度低于上侧吸附部。一种探针台，所述探针台设置有上述晶圆搬运装置。一种晶圆检测自动线，所述晶圆检测自动线设置有上述的晶圆搬运装置。使上侧吸附部和下侧托盘部能够同步运动转移晶圆，满足转移晶圆的不同使用场景，提升晶圆转移效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 搬运 装置 探针 检测 自动线 | ||
【主权项】：
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