[实用新型]一种硅片移载装置有效
| 申请号： | 202221359109.0 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN217534646U | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 李新丰;王彦齐;孙永刚 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 郭利娜 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，具体公开了一种硅片移载装置。本实用新型提供的硅片移载装置用于在输送轨道和工艺载板之间移载硅片，吸附移载单元设有至少两个吸附硅片的吸附组件，以实现能同时吸附多列硅片从输送轨道移载至工艺载板上或者从工艺载板移载至输送轨道上，提高了转运效率，且吸附组件在X方向的位置能调整，以在输送轨道上相邻的两列硅片的间距与工艺载板上相邻的两列硅片的间距不相同时，实现硅片的顺利转运，提高了硅片移载装置使用的灵活性；X轴驱动单元使吸附移载单元在输送轨道和工艺载板之间切换，Z轴驱动单元驱动吸附移载单元升降以吸附或下放硅片，吸附定位精度要求低，且在移载过程中不易损坏硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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