[实用新型]一种LED晶圆的标记装置有效
| 申请号： | 202222265457.8 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN218471975U | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 李慧敏;齐佳鹏;钟伟华;彭足超;李景浩;鲁日彬;蔡武 | 申请（专利权）人： | 福建兆元光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/44;H01L33/46;H01L33/38 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 唐燕玲 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LED晶圆的标记装置，LED晶圆的标记装置中包括位于晶圆上的后段标记区域、中心标记区域和对位标记区域；其中，后段标记用于模拟电极和底层的结合力以及用于分选站点机台的识别，中心标记区域用于机台电性测试中的识别，对位标记用于光刻机的对位识别，因此后段标记区域、中心标记区域和对位标记区域均包含多个膜层，相较于现有技术中的标记点，能够增加标记区域的厚度，使其倒模时不易掉落。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 标记 装置 | ||
【主权项】：
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