[实用新型]一种红外窗口及非制冷红外探测器有效

专利信息
申请号: 202222325453.4 申请日: 2022-08-31
公开(公告)号: CN218271077U 公开(公告)日: 2023-01-10
发明(设计)人: 刘继伟;李松华;胡汉林;邱彤;王兴祥;孔祥盛;刘向宏;包悦 申请(专利权)人: 烟台睿创微纳技术股份有限公司
主分类号: G01J5/0875 分类号: G01J5/0875
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 任洁芳
地址: 264006 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本申请涉及红外探测器技术领域,公开了一种红外窗口及非制冷红外探测器,红外窗口包括窗口晶圆、设置在窗口晶圆出射面第一设定位置处的第一微结构阵列、设置在第一微结构阵列表面的吸气剂层;还包括设置在窗口晶圆出射面第二设定位置处的金属化层、设置在金属化层表面的支撑层、设置在支撑层表面的阻挡层、设置在阻挡层表面的焊料层;窗口晶圆、金属化层、支撑层、阻挡层及焊料层构成腔体结构。本申请公开的技术方案,通过第一微结构阵列扩大吸气剂层的面积,以提高窗口晶圆单位面积内吸气剂量,从而提高红外窗口单位面积上吸气剂的吸气性能,且利用金属化层和焊料层间设置的支撑层保证腔体结构最小高度,从而提高红外窗口封装的性能。
搜索关键词: 一种 红外 窗口 制冷 红外探测器
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