[实用新型]用于QFN芯片的压合装置有效
申请号: | 202223366758.6 | 申请日: | 2022-12-15 |
公开(公告)号: | CN219286344U | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 廖兵;沈礼福 | 申请(专利权)人: | 苏州达晶微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603 |
代理公司: | 苏州科旭知识产权代理事务所(普通合伙) 32697 | 代理人: | 姚昌胜 |
地址: | 215163 江苏省苏州市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开一种用于QFN芯片的压合装置,包括:封装板、支撑板,表面具有若干个封装区域的封装板设置在支撑板上方,在此支撑板的一侧且位于封装板上方设置有一下压板,此下压板与支撑板之间设置有一气缸,位于此下压板与封装板之间设置有一具有若干个通孔的条板,下压板与条板固定连接,且沿此条板的长度方向间隔设置有若干个顶部具有插杆的压块,通孔与插杆之间滑动连接,在此压块与条板之间且套装在插杆外壁上有一缓冲弹簧。本实用新型既实现了芯片与对应封装区域的紧密贴合,便于后续加工,又能够对压合过程进行缓冲,避免压块与芯片之间硬接触导致芯片损坏的情况,提高了芯片的安全性。 | ||
搜索关键词: | 用于 qfn 芯片 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造