[发明专利]微机电系统开关及其制造方法在审
| 申请号： | 202280000242.3 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN116941008A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李月;冯昱霖;肖月磊;曹雪;常文博;韩基挏;吴艺凡;周毅;王立会;魏秋旭;安齐昌;曲峰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 李迎亚;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种微机电系统开关及其制造方法，该微机电系统开关包括绝缘基底、驱动电极、第一绝缘层、第一信号传输线和第二信号传输线，其中，绝缘基底的第一表面形成有第一区域，且第一区域相对于第一表面更靠近绝缘基底背离第一表面的表面，驱动电极设置于第一区域；第一绝缘层完全覆盖驱动电极；第一信号传输线设置于第一绝缘层背离绝缘基底一侧的表面；第二信号传输线包括连为一体的信号传输段和悬臂段，信号传输段设置于绝缘基底的第一表面，悬臂段悬置于第一信号传输线背离绝缘基底一侧。本发明提供的微机电系统开关及其制造方法，不仅可以简化开关结构、降低工艺复杂程度，而且可以减少悬臂变形和断裂的几率，提高悬臂的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 开关 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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- 本发明提供一种MEMS开关，其包括壳体、开关组件、第一致动电极、第一触点、第二致动电极、第二触点，第三致动电极和第四致动电极，当所述第一致动电极和所述第二致动电极之间不施加电压时，所述开关组件处于所述第一关闭状态并与所述第一触点接触。当所述第三致动电极和所述第四致动电极之间施加第一电压时，所述开关组件被驱动偏转，使所述开关组件处于所述打开状态，并与所述第一触点和所述第二触点间隔开。当所述第三致动电极和所述第四致动电极之间施加第二电压时，所述开关组件被驱动偏转，使所述开关组件处于所述第二关闭状态并与所述第二触点接触。本发明提供的MEMS开关具有打开状态和至少一种关闭状态。
- 微机电系统开关及其制备方法-202210162889.8
- 冯昱霖;李月;肖月磊;曹雪;韩基挏;常文博;吴艺凡;周毅;王立会;魏秋旭;安齐昌;曲峰 - 北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
- 2022-02-22 - 2022-05-27 - H01H59/00
- 本公开提供一种微机电系统开关及其制备方法，属于射频开关技术领域。本公开的微机电系统开关包括衬底基板；膜桥，其包括与衬底基板相对设置的第一桥体，以及设置在衬底基板上用于支撑第一桥体的至少一个连接臂；驱动电极，设置在第一桥体靠近衬底基板的一侧，且与第一桥体之间存在一定的空间；第一绝缘层，至少覆盖驱动电极靠近第一桥体的表面；辅助功能结构，至少设置在第一桥体上，且辅助功能结构的弹性模量大于第一桥体的弹性模量。
- 一种单片集成多波段控制MEMS开关-202010325794.4
- 黄镇;郁元卫;罗仁虎;匡蕾;姜理利;王冬蕊 - 中国电子科技集团公司第五十五研究所
- 2020-04-23 - 2022-04-15 - H01H59/00
- 本发明公开了一种单片集成多波段控制MEMS开关，衬底、三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线、波段控制单元、封帽；三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线和波段控制单元制作在衬底上，信号传输线将三个开关单元连接成一串两并的电路拓扑结构；3个开关单元的控制单元包括高阻值薄膜、连接金属线和控制焊盘，由3个控制电压组合完成多个波段MEMS开关功能；衬底与封帽形成密封腔体，将MEMS开关电路的可动结构封装在腔体内；三个串联接触式MEMS开关单元可分别由蟹型梁式、悬臂梁式开关结构中选择。本发明优化了宽频段下MEMS开关的插入损耗、提高了MEMS开关的隔离度，为相控阵雷达天线、通信装备等向小型化高性能发展提供了新的解决方案。
- 电容式射频微机电开关的系统和操作方法-201780079840.3
- H-P·勒布尔;S·舒列波夫 - 皇家飞利浦有限公司
- 2017-12-21 - 2022-03-29 - H01H59/00
- 公开了一种用于电容式射频微机电开关的系统和操作方法，所述电容式射频微机电开关是诸如用于超声系统中的CMUT单元。RFMEMS可以包括基板、连接到所述基板的第一电极、膜和连接到所述膜的第二电极。在一些范例中，在第一电极与第二电极和柔性膜之间存在电介质堆叠。电介质堆叠设计使膜塌陷电压中的漂移最小化。在其他范例中，电极之一是环形形式的，并且第三电极被提供为占据环的中心的空间。备选地，第一和第二电极两者都是环形形式的并且在环内部在电极之间存在支撑件。
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