[发明专利]具有非化学计量组成的化合物用密封件及其制造方法在审
| 申请号： | 202280016616.0 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN116941019A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 竹谷纯一;渡边峻一郎;熊谷翔平;韦潇竹;池田大次;佐藤弘树;赤井泰之 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东京大学;株式会社大赛璐 |
| 主分类号： | H01L21/312 | 分类号： | H01L21/312 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 杨薇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供一种适合于具有非化学计量组成的化合物的密封件。本公开涉及一种具有非化学计量组成的化合物用密封件，其包括：聚合物层和无机氧化物绝缘体层，所述聚合物层包括：包含有机溶剂可溶性聚合物的第一聚合物层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 化学 计量 组成 化合物 密封件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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