[发明专利]包括静电夹具的设备以及方法在审
| 申请号： | 202280019613.2 | 申请日： | 2022-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN116940901A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 克塞尼亚·谢尔盖夫纳·马卡伦科;M·A·范德柯克霍夫;A·多尔戈夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 毕杨 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于夹持物体的静电夹具，该静电夹具包括电粘附层，该电粘附层包括涂覆有绝缘材料的多个导电性可压缩材料元件，其中，电粘附层被配置为以电气方式改变对物体的粘附性，以用于夹持及松开物体，其中，所述元件具有在1nm至100nm的范围内、优选地在5nm至20nm的范围内的平均直径。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 静电 夹具 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202280019613.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
