[发明专利]氧化铈粒子、其制造方法及其在化学机械研磨中的用途在审
| 申请号： | 202280021012.5 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN116964003A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | M·普利松诺;R·托特;L·达朗康;V·布塞特;M·博多特 | 申请（专利权）人： | 罗地亚经营管理公司 |
| 主分类号： | C01F17/235 | 分类号： | C01F17/235 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 童春媛;林毅斌 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及粗糙度指数RI至少为5的氧化铈粒子、其制造方法、以及其在化学机械研磨应用中的用途。#imgabs0# | ||
| 搜索关键词： | 氧化 粒子 制造 方法 及其 化学 机械 研磨 中的 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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