[发明专利]一种超精密双面研磨防粘研磨石

摘要

本发明公开了一种超精密双面研磨防粘研磨石，包括精密研磨石，所述精密研磨石包括新型铝板和新型磨石，所述新型铝板包括铝板主体，所述铝板主体的上表面从左至右依次开设有导流槽一、导流槽二和导流槽三，所述导流槽一、导流槽二和导流槽三的下表面拐角处均开设有导流孔一，所述新型磨石包括磨石一、磨石二和磨石三。本发明通过新型铝板和新型磨石的改进和配合，优化研磨液流通方式，通过新型铝板的槽导向，由从磨石之间缝隙流下改为在新型磨石表面多个孔流下，直接冲击作用到盘片上，以水流的冲击、隔绝作用，减少研磨结束后盘基片、游星轮粘在上盘，减少盘基片的返修/报废和缺陷风险，使得员工操作更顺畅。