[发明专利]沉积源及显示装置的制造方法在审
申请号: | 202310099515.0 | 申请日: | 2023-02-10 |
公开(公告)号: | CN116695065A | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 朴盛锺;朴简永;韩种馩;姜贤圭;金大容;徐东均 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;H01L21/67 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;刘铮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明一实施例公开了一种沉积源,所述沉积源包括:壳体,沉积物质容纳在所述壳体的内部;多个第一喷嘴,朝向在第一方向上进行相对移动的掩模组件喷射所述沉积物质;第二喷嘴,布置在所述多个第一喷嘴中的至少一部分第一喷嘴的外侧,并且在所述第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向上与所述第一喷嘴间隔开并围绕所述第一喷嘴。 | ||
搜索关键词: | 沉积 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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