[发明专利]一种NBTI老化效应的评估方法在审
申请号: | 202310120298.9 | 申请日: | 2023-02-15 |
公开(公告)号: | CN116384050A | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 李聪;吕松松;董啸宇;成善霖 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | G06F30/20 | 分类号: | G06F30/20;G06F119/04 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 710071*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种NBTI老化效应的评估方法,包括:第一预设时间段内采用恢复时间动力学模型评估MOS器件的NBTI老化效应,得到第一预设时间段内各单位时刻的恢复阶段的阈值电压漂移;在第二预设时间段内采用可恢复性缺陷退化模型和准永久性缺陷退化模型评估该器件的该效应,得到第二预设时间段内每个单位时刻的应力阶段的阈值电压漂移;根据阈值电压漂移得到评估结果;上述模型根据第一阈值电压测量结果和第二阈值电压测量结果得到;第一阈值电压测量结果是在第一预设温度下对第一MOS器件施加不同栅极电压时测量出的阈值电压;第二阈值电压测量结果是在第二预设温度下对第二MOS器件施加不同栅极电压时测出的阈值电压。 | ||
搜索关键词: | 一种 nbti 老化 效应 评估 方法 | ||
【主权项】:
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