[发明专利]一种减振固晶结构及固晶设备在审
| 申请号： | 202310136469.7 | 申请日： | 2023-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN116207022A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 陈树斌;张勇 | 申请（专利权）人： | 东莞触点智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 彭鲲鹏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种减振固晶结构及固晶设备，具体包括机架和安装于机架上的第一横梁；第一横梁上安装有第一驱动组件，第一驱动组件的第一驱动端及第二驱动端能沿第一方向移动；第一驱动端上安装有固晶组件，第二驱动端上安装有平衡块；其中，平衡块的移动方向与固晶组件的移动方向相反。在进行固晶时，可以利用第一驱动组件带动固晶组件移动时，并通过固晶组件吸取芯片，实现芯片的移动，从而完成将芯片放置于指定位置的动作；在固晶的过程中，会涉及固晶组件的加速及减速的阶段，在此阶段中，通过平衡块相对于固晶组件的反向运动，产生与固晶组件相反的运动趋势，从而抵消固晶组件在加速及减速过程中所产生的振动，使得整体的精度得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减振固晶 结构 设备 | ||
【主权项】：
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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