[发明专利]一种高响应度气体传感器气敏颗粒加载方法及系统

摘要

本发明涉及一种高响应度气体传感器气敏颗粒加载系统及方法，其中，方法包括以下步骤：化学浴沉积前驱液配置：将至少两种或两种以上的能够基于反应获得气敏颗粒的化合物溶于醇溶液；加热条件下将前驱液的上清液移除以增加气敏颗粒的浓度；气敏颗粒薄膜沉积：基于前驱液采用水热法在氧化铝模板上生长气敏颗粒薄膜；基于第一方法下的旋涂法鼓励所述氧化铝模板上的气敏颗粒形成具有小尺寸的气敏颗粒且膜厚度分布均匀的气敏颗粒薄膜。本发明通过旋涂法限制气敏颗粒在沉积过程中发生团聚，且将多余的气敏颗粒和醇溶液在离心力作用下从纳米管管口排出，加快了成膜过程，且气敏材料的沉积过程能够在较低的温度条件下进行，减少了加载过程中的热量损耗。