[发明专利]纳米探针的修复方法有效
| 申请号： | 202310196386.7 | 申请日： | 2023-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN115849299B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 徐高峰;陈声宇;刘明德;胡子强;董楠;陈家宝 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;G01R1/067;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周修文 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种纳米探针的修复方法，纳米探针的修复方法包括如下步骤：将待进行修复的纳米探针的载体固定放置在支撑台上；使纳米探针的针体与聚焦离子束的发射方向平行；采用第一工艺参数的聚焦离子束对纳米探针进行修复处理，以将旧针尖去除；采用第二工艺参数的聚焦离子束对去除旧针尖后的纳米探针的针体进行修复处理，以在针体上得到针尖半成品；采用第三工艺参数的聚焦离子束对针尖半成品进行修复处理，使针尖半成品的尺寸参数符合预设要求的新针尖。上述的纳米探针的修复方法，能够对损坏的纳米探针进行修复，节省能源，以及降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 探针 修复 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310196386.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种微显示面板像素驱动电路
- 下一篇：一种高隔离度可调带通滤波器
