[发明专利]确定带电粒子束的像差的方法和带电粒子束系统

摘要

描述了一种确定在带电粒子束系统中由具有给定数值孔径(NA)的聚焦透镜(120)聚焦到样品(10)的带电粒子束(11)的像差的方法。所述方法包括：(a.)至少基于给定数值孔径(NA)，针对一组束像差系数(C1...n)中的第一束像差系数(C1)的两个或更多个不同值中的每一个，在一个或多个第一散焦设置下模拟一个或多个束横截面，以提供多个第一模拟束横截面；(b.)从多个第一模拟束横截面中提取与第一束像差系数(C1)相关的第一像差特性(～C1)的两个或更多个值；(c.)确定第一束像差系数(C1)与第一像差特性(～C1)之间的第一相关性；(d.)在一个或多个第一散焦设置下或在一个或多个第二散焦设置下拍摄样品的一个或多个图像，以提供一个或多个拍摄的图像，并且从一个或多个拍摄的图像中检索一个或多个检索到的束横截面；(e.)从一个或多个检索到的束横截面中提取第一像差特性的检索值；以及(f.)基于第一相关性并且基于第一像差特性的检索值，确定第一束像差系数的实际值。