[发明专利]压电元件、头芯片、液体喷射装置以及传感器在审
申请号: | 202310303950.0 | 申请日: | 2023-03-27 |
公开(公告)号: | CN116890528A | 公开(公告)日: | 2023-10-17 |
发明(设计)人: | 滨田泰彰;矢野凯己;北田和也;大桥幸司 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种能够对振动板的位移量的效率(线性)的下降进行抑制的压电元件、头芯片、液体喷射装置以及传感器。本发明的压电元件具备:第一电极;压电体层,其被形成在所述第一电极的上方;第二电极,其被形成在所述压电体层的上方,所述压电体层包含钾、钠和铌,并且通过纳米压痕法而被测量出的所述压电体层的杨氏模量超过130GPa。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 芯片 液体 喷射 装置 以及 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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