[发明专利]一种化学气相沉积用镀膜板高度校准工具及使用方法在审
| 申请号： | 202310337845.9 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116336989A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 姚志;赵文龙;杜学慧;马嫣;韩洁;宋超;王鹏;张晔;焉峰 | 申请（专利权）人： | 泰安市计量科学研究所 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;C23C16/52 |
| 代理公司： | 济南克雷姆专利代理事务所(普通合伙) 37279 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 271000 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种化学气相沉积用镀膜板高度校准工具及使用方法，包括固定板，固定板底部固定连接有固定齿环，固定齿环的内圈啮合有转动齿轮，固定板顶部固定连接有蜗轮，蜗轮固定连接有转轴，转轴固定连接有横板，横板的一端铰接有活动杆，转动齿轮开设有调节条孔，活动杆与调节条孔滑动连接，活动杆的下方活动连接有高度表。本发明不需要人工操作便可实现数据的测量，调整方便，测量更为精准，还能有效地减少设备停机检测的时间，提高了生产效率，减少了人力物力的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 镀膜 高度 校准 工具 使用方法 | ||
【主权项】：
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