[发明专利]调节系统及调节方法在审
| 申请号： | 202310365348.X | 申请日： | 2023-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN116922258A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 孙智勋 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B37/20;B24B37/28;B24B51/00;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供一种调节系统。根据一个实施例的调节系统，可包括：研磨垫，其与基板相接触；调节器，其对研磨垫的表面进行调节；传感器部，其对研磨垫的表面状态进行测量；控制部，其根据控制模型，对调节器进行控制；以及机器学习部，其通过机器学习来优化控制模型，机器学习部包括：评价部，其基于传感器部所测量的测量数据，对控制模型进行评价；以及修正部，其根据评价部所评价的结果，对控制模型进行修正。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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