[发明专利]一种铌酸锂薄膜电光调制器在审

专利信息
申请号: 202310395985.1 申请日: 2023-04-14
公开(公告)号: CN116609955A 公开(公告)日: 2023-08-18
发明(设计)人: 卢金龙;陆龙钊;郝婷;周赤;吉贵军;王兴龙 申请(专利权)人: 珠海光库科技股份有限公司
主分类号: G02F1/03 分类号: G02F1/03;G02F1/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 张娟
地址: 519080 广东省珠*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本公开提供的一种铌酸锂薄膜电光调制器,包括:一维光子晶体,为由沿过该一维光子晶体中心点的X轴依次排布的若干第一结构单元和第二结构单元组成的单排结构,第一、第二结构单元分别位于一维光子晶体中心线的左右侧,通过在第一基本单元上刻蚀区域A1后形成第一结构单元,通过在第二基本单元上刻蚀与区域A1采用不同分布形式的区域A2后形成第二结构单元,单个第一、第二结构单元上区域A1与区域A2的大小相等;输入波导和输出波导,沿与X轴垂直的Y轴布设,且分别与一维光子晶体的上下侧连接;调制电极,沿X轴布设,且分别位于一维光子晶体的上下侧。本公开可提高电光调制器的集成度和稳定性、降低调制能耗。
搜索关键词: 一种 铌酸锂 薄膜 电光 调制器
【主权项】:
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