[发明专利]研磨液供给装置有效
| 申请号： | 202310430555.9 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116160364B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 孙婷婷 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 杨明莉 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种研磨液供给装置，应用于化学机械研磨设备，研磨液供给装置包括控制器、运动机构、研磨液供给臂及喷嘴，运动机构安装于化学机械研磨设备上；研磨液供给臂的一端活动安装于运动机构；喷嘴安装于研磨液供给臂的另一端，位于化学机械研磨设备的研磨垫的上方，喷嘴包括连通管部和连通连通管部的扇形出口部，其中，扇形出口部的开度可调节，研磨液经研磨液供给臂及喷嘴分散至研磨垫上；控制器与运动机构、研磨液供给臂及喷嘴均相连，用于控制运动机构、研磨液供给臂及喷嘴中至少一个动作，来改变分散至研磨垫上研磨液的轨迹，避免产生研磨液在研磨垫上堆积及分散不匀的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 供给 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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