[发明专利]芯片及芯片的制作方法在审
申请号: | 202310430977.6 | 申请日: | 2023-04-20 |
公开(公告)号: | CN116525591A | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 包谦;于海林 | 申请(专利权)人: | 西安紫光国芯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;H01L21/66 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 强珍妮 |
地址: | 710075 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供了一种芯片及芯片的制作方法。该芯片包括若干晶粒,至少一晶粒包括功能电路和测试模块,以在进行晶圆键合前,通过测试模块对晶粒的功能电路进行单晶圆测试。芯片由晶圆键合后再切割得到。各晶圆中存在晶粒内同时设置有功能电路与测试模块。当需要在晶圆键合前对晶圆单独进行测试时,通过测试模块给待测试的功能电路提供信号输入,模拟其键合后其他晶圆提供给其的端口数据,从而单独的晶圆在键合前也能实现预定功能,能对晶圆独立进行测试,若单独的晶圆测试不通过,可以及时更换晶圆或对晶圆进行修改。避免晶圆键合得到芯片后再进行测试,测试不及时造成的整个产品报废返修。上述有效降低了开发成本、缩短了芯片的开发周期。 | ||
搜索关键词: | 芯片 制作方法 | ||
【主权项】:
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