[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池中透明电极的制备方法及应用在审
申请号: | 202310436823.8 | 申请日: | 2023-04-21 |
公开(公告)号: | CN116406215A | 公开(公告)日: | 2023-07-07 |
发明(设计)人: | 杨静;刘冬雪;张晓丹;孙天歌;董一昕;贡永帅;邹巧娇 | 申请(专利权)人: | 中国长江三峡集团有限公司;南开大学 |
主分类号: | H10K71/60 | 分类号: | H10K71/60;H10K30/82;H10K30/50 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 廖慧敏 |
地址: | 430010 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种钙钛矿太阳能电池中透明电极的制备方法及应用,属于透明导电薄膜技术领域。该方法包括以下步骤:采用功率为2~10W的直流溅射在电池基片的缓冲层表面沉积厚度为5~15nm的透明导电薄膜形成透明电极缓冲层;采用射频溅射在所述透明电极缓冲层表面继续沉积透明导电薄膜形成透明电极薄膜层。本发明的方法在溅射透明导电薄膜之前采用超低频直流溅射替代射频溅射制备超薄透明电极缓冲层,达到对电池光电学性能影响较小的情况下有效降低射频溅射对电池基片表面和内部材料的溅射损伤,降低接触电阻,使得电池性能提高且光学性能优异。 | ||
搜索关键词: | 一种 钙钛矿 太阳能电池 透明 电极 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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