[发明专利]一种微米级小形变放大装置有效
申请号: | 202310530535.9 | 申请日: | 2023-05-12 |
公开(公告)号: | CN116295083B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 李文尧;张晨晖;夏凯敏;刘志阳;孙志平 | 申请(专利权)人: | 山东恒美电子科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16 |
代理公司: | 山东华君知识产权代理有限公司 37300 | 代理人: | 武欢欢 |
地址: | 261000 山东省潍坊市高新区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种微米级小形变放大装置,属于精密定位及微形变技术领域,包括可见光光纤激光器、准直器、二维调节支架、主腔体及通过PZT驱动电路驱动的光杠杆机构;主腔体上开有激光入射窗和激光出射窗;光杠杆机构包括相对设置的前端平面反射镜和后端平面反射镜,前端平面反射镜固接于主腔体内壁上,后端平面反射镜固接于镜架连接块前端,镜架连接块后端通过拉簧和限位变径螺栓与主腔体的腔壁相连接;镜架连接块与主腔体内壁之间设有PZT压电陶瓷。本发明可以运用折叠光路放大测量压电陶瓷的微小伸长量,使微米级细小形变实现至少1000倍放大,结构简单便携性极好,测量过程无需参考光束,在空气中具有高灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 微米 形变 放大 装置 | ||
【主权项】:
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