[发明专利]一种用于ATE测试设备的液冷板卡结构在审
| 申请号： | 202310546340.3 | 申请日： | 2023-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN116669377A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 张波 | 申请（专利权）人： | 上海御渡半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陶金龙 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体设备的技术领域，公开了一种用于ATE测试设备的液冷板卡结构，其特征在于：包括相互配合的底板和冷板，在所述底板和冷板之间设置有多列扣板，每列扣板对应一种功能的芯片测试，其一面与底板能够拆卸地连接在一起，所述冷板用于对底板以及所有扣板进行液冷散热。在相同空间尺寸的前提下，优化板卡整体结构，将现有底板拆分为一块兼容性的底板和多块集成功能模块的扣板，每个扣板的结构可以根据测试芯片的需求进行单独设计，降低高集成度底板的制作风险，从而实现测试不同功能的芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ate 测试 设备 板卡 结构 | ||
【主权项】：
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