[发明专利]一种用于扫描微波显微镜的扫描微波探针及其制备方法在审
| 申请号： | 202310579521.6 | 申请日： | 2023-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN116626342A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 温焕飞;唐军;刘俊;李中豪;郭浩;马宗敏;李鑫 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01Q90/00 | 分类号： | G01Q90/00 |
| 代理公司： | 青岛智地领创专利代理有限公司 37252 | 代理人： | 陈海滨 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于扫描微波显微镜的扫描微波探针及其制备方法，扫描微波探针包括：基板、电极片、悬臂梁和探针针尖，电极片通过印刷工艺沉积在基板上，悬臂梁通过导电胶固定于基板上，并且一端与电极片相接触，另一端悬空设置，悬臂梁悬空的一端向电极片一侧弯折，形成探针针尖，制备悬臂梁的材料为铂金或其他金属导电材料。本发明的技术方案克服现有技术中的定频扫描微波探针工作频率单一，制作工艺复杂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 微波 显微镜 探针 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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