[发明专利]太阳能电池的制造方法、太阳能电池以及光伏组件

摘要

本公开实施例涉及光伏领域，提供一种太阳能电池的制造方法、太阳能电池以及光伏组件，提供基底；形成位于基底背面的隧穿氧化层；形成第一半导体层，第一半导体层位于隧穿氧化层上；采用LPCVD工艺形成第二半导体层，第二半导体层位于第一半导体层上，第二半导体层中具有烷烃基团以及掺杂离子，掺杂离子为N型离子或者P型离子；进行退火处理，第二半导体层中的烷烃基团分解，部分氢原子从第二半导体层中溢出，使得第二半导体层中具有微孔结构；形成电极，电极位于第二半导体层远离基底的一侧，且至少与部分第二半导体层电接触。至少可以实现在提高电池背面的钝化性能的同时，提高电池背面膜层的致密性，且减少脱粉以及爆膜的问题。