[发明专利]一种石墨烯基二维压电器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202310613450.7 | 申请日： | 2023-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN116600625A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 蔡金明;陈其赞;陈根 | 申请（专利权）人： | 广东墨睿科技有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/85 | 分类号： | H10N30/85;H10N30/30;H10N30/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及石墨烯材料领域，具体提供一种悬空型石墨烯基二维压电器件的制备方法通过在硅片上原位构建反蛋白石结构骨架作为制程压电功能材料衬底，反蛋白石结构骨架呈标准六元环的蜂窝结构，从而实现非骨架区域镂空设计；压电功能层以单层石墨烯膜作为衬底，通过化学气相沉积法在单层石墨烯膜上原位生长二维的压电功能层；所述压电功能层为具有压电效应的无机二维材料，如过渡金属二硫化物、IIIV族金属单硫化物等；使用PMMA将原位生长的石墨烯基二维压电功能层转移至反蛋白石悬空衬底上，样品呈三明治式堆叠：石墨烯/二维压电功能层/超薄PVDF膜层/反蛋白石悬空衬底/硅片；经蚀刻和标准电子束曝光工艺除去多余石墨烯并引出金电极，极获得压电器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 二维 压电 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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